长春国科精密光学技术有限公司上海分公司

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产品中心

	高端光刻机照明系统
	照明系统是以非成像光学为主的复杂光学系统，其中包含深紫外激光光束变换、整形与控制技术，实现深紫外激光的精确调控；照明光场匀化与校正技术 ......

	衍射光学元件设计与加工
	国科精密上海分公司可以提供产生大尺寸均匀照明光场及激光束变换所需的衍射光学元件及组件的设计、制造与检测服务 ......

	高精度大口径快速反射镜
	快速反射镜能够高速改变入射光束的出射方向，实现光束的快速指向与位置的精确控制 ......

	长焦深激光加工镜头
	用于玻璃加工行业，配合飞秒激光器进行玻璃面板激光打孔和切割。加工孔尺寸：3m@5.5mm深度范围内镜头实物图玻璃表面打孔效果 ......

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长春国科精密光学技术有限公司上海分公司致力于光刻机曝光系统子系统-光刻机照明系统的研发、制造和技术服务。上海分公司在复杂非成像光学系统整体设计与仿真、深紫外激光光束整形与控制、照明光场均匀化与校正、深紫外激光脉冲能量探测等领域的技术水平处于国内领先地位。上海分公司长期从事光机电算一体化技术、仪器设备研发与产品化，尤其在深紫外光学技术方面，拥有丰富的技术经验 ... 详情>>>

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