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精密光学间距测量仪

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精密光学间距测量仪
时间:2018-03-28 23:08来源:国科上海分公司作者: 秩名点击:打印
精密光学间距测量仪作为一种通用光学测量设备,可以应用于光学加工、装调、面形测试以及其他领域的高精度间距测量,可根据使用范围和测量精度的不同要求形成系列产品。
 
 

实物图
 

原理图
 
该仪器有两种测量范围,1)在毫米范围内,亚纳米的测量精度;2)在米范围内,微米的测量精度。
 
l可测表面类型:光滑、粗糙、透明、镜面

l表面反射率:0.5%~100%

l绝对距离测量范围:0~1400mm

l测量精度:亚纳米/微米
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