长春国科精密光学技术有限公司上海分公司
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国科精密 上海分公司简介
长春国科精密光学技术有限公司上海分公司致力于光刻机曝光系统子系统-光刻机照明系统的研发、制造和技术服务。上海分公司在复杂非成像光学系统整体设计与仿真、深紫外激光光束整形与控制、照明光场均匀化与校正、深紫外激光脉冲能量探测等领域的技术水平处于国内领先地位。 上海分公司长期从事光机电算一体化技术、仪器设备研发与产品化，尤其在深紫外光学技术方面，拥有丰富的技术经验。